Khí này bị phận hủy ở khoảng 600K sinh ra gecmani và hiđrô. Do tính không bền nhiệt của nó nên gecman được sử dụng trong công nghiệp bán dẫn để phát triển kết tinh phép trầm tích của gecmani theo các phương pháp MOVPE hay trầm tích chùm phân tử.[4] Các tiền chất gecmani hữu cơ (như isobutylgermane, triclorua ankylgecmani, triclorua dimetylaminogecmani) đã được thử nghiệm như là các chất lỏng thay thế ít độc hại hơn thay cho germane để trầm tích các màng chứa gecmani theo phương pháp MOVPE.[5]